[13a-C31-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[13a-C31-1] イットリア安定化ジルコニアセラミックスに形成されるフェムト秒レーザー誘起周期構造のレーザー波長依存性

〇欠端 雅之¹、高橋 俊彦²、屋代 英彦¹、大矢根 綾子³、伊藤 敦夫⁴、西川 正²、鳥塚 健二¹ (1.産総研　電子光技術、2.東京電機大学、3.産総研　ナノ材料、4.産総研　健康工学)

キーワード：フェムト秒レーザー、周期構造、波長依存性

前回までにチタンサファイアレーザーを用いてイットリア安定化正方晶ジルコニア多結晶体(3Y-TZP)表面にレーザー誘起周期構造(LIPSS)形成を行い、偏光に平行で周期が波長と同程度か波長より大きなLIPSSの形成と、フルエンスとパルス幅に依存した周期の変化を報告した 。今回、LIPSS形成のフェムト秒レーザー波長依存性（1030nm, 515nm, 343nm）について報告する。