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[13a-C31-3] 近紫外フェムト秒レーザによる溶融石英穿孔構造の内表面粗さ評価
キーワード：フェムト秒レーザ加工、表面改質、溶融石英
近紫外フェムト秒レーザを用いて溶融石英薄板に構築した穿孔構造の内表面粗さを評価した．波長400nm，パルス幅350fs，パルスエネルギー20mJ，繰返し周波数1kHzを照射条件とした．開口数0.65の対物レンズを用いて，任意のパルス数に対する穿孔加工結果をSEMを用いて取得した．穿孔構造内表面粗さはパルス数に依存して変化し，50パルス照射時に比較的滑らかな穿孔構造内表面を取得できることを明らかにした．