[13a-D62-1~11] 6.4 薄膜新材料

[13a-D62-9] 立方晶Mg_xZn_1−xO 混晶薄膜および超格子構造の深紫外CL 発光特性

〇今別府 秀行¹、大島 孝仁¹、服部 真依¹、中谷 道人²、須山 敏尚²、吉松 公平¹、大友 明^1,3 (1.東工大物質理工、2.トクヤマ、3.元素戦略)

キーワード：深紫外発光、MgZnO

近年，殺菌用途の深紫外（DUV）光源として用いられている水銀ランプに代わる環境適用型固体光源の開発が検討されている．今回，我々は立方晶Mg_xZn_1-xO混晶に着目し、混晶薄膜及びMg_xZn_1-xO/MgO超格子構造の作製を行った。カソードルミネッセンス法による発光スペクトル測定の結果、バンド端発光とみられるピークを観測した。また、超格子構造では混晶薄膜と比較し、発光強度の増大が観測された。