[13p-A21-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-A21-3] PSD法によるGaNへのn型ドーピング技術の開発

〇上野 耕平¹、荒川 靖章¹、今別府 秀行¹、小林 篤¹、太田 実雄^1,2、藤岡 洋^1,3 (1.東大生研、2.JST-さきがけ、3.JST-ACCEL)

キーワード：GaN、スパッタリング