2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-A21-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

2016年9月13日(火) 13:15 〜 18:00 A21 (メインホールA)

荒木 努(立命館大)、有田 宗貴(東大)、村上 尚(農工大)

14:30 〜 14:45

[13p-A21-5] その場減圧窒素マイクロプラズマ処理によるMOMBE GaN成長再現性の向上

日下部 安宏1、丸山 隆浩1、清水 一男2、成塚 重弥1 (1.名城大理工、2.静大工)

キーワード:窒化ガリウム、有機金属分子線成長