[13p-A25-1~12] 9.5 新機能材料・新物性

[13p-A25-3] 電気化学エッチングを利用した黒リンの電気二重層トランジスタ

〇佐藤 洋平¹、高橋 敬成²、笹川 崇男²、上野 和紀¹ (1.東大院総合、2.東工大フロンティア研)

キーワード：黒リン、電気二重層トランジスタ、電気化学エッチング

黒リンは二次元層状物質であり、有限の大きさのバンドギャップを持つ直接遷移型の半導体である。しかし、黒リンには、大気中の水分と化学反応を起こし、表面の平坦性や移動度が大きく劣化する問題があった。本研究では、黒リン単結晶をチャネルとする電気二重層トランジスタを用いて、電気化学的エッチングにより高品質な黒リンの極薄膜の作製を試み、両側動作電気二重層トランジスタを作成したので報告する。