[13p-A26-1~16] 6.2 カーボン系薄膜

[13p-A26-1] ナノホールレジストマスクを用いた低エネルギーイオン注入による量子センシングのためのNVセンター配列の作製

〇東又 格¹、岡田 拓真¹、加賀美 理沙¹、寺地 徳之²、小野田 忍³、春山 盛善^3,5、山田 圭介³、稲葉 優文¹、山野 颯¹、Priyadharshini Balasubramanian⁴、Liam P McGuinness⁴、Boris Naydenov⁴、Fedor Jelezko⁴、大島 武³、品田 高宏⁶、川原田 洋¹、加田 渉⁵、花泉 修⁵、磯谷 順一⁷、谷井 孝至¹ (1.早大理工、2.物材機構、3.量研機構、4.ウルム大、5.群大、6.東北大、7.筑波大)

キーワード：NVセンター