[13p-A26-1~16] 6.2 カーボン系薄膜

[13p-A26-15] イオン注入を用いたSiVセンターの作製と生成収率のエネルギー依存性評価

〇加賀美 理沙¹、東又 格¹、岡田 拓真¹、寺地 徳之²、小野田 忍³、春山 盛善^3,4、大島 武³、品田 高宏⁵、加田 渉⁴、花泉 修⁴、磯谷 順一⁶、谷井 孝至¹ (1.早大理工、2.物材機構、3.量研機構、4.群大、5.東北大、6.筑波大)

キーワード：SiVセンター