[13p-A26-1~16] 6.2 カーボン系薄膜

△ [13p-A26-4] 微細加工基板上に生成されたダイヤモンド中NV中心－微細加工法による特性の違い－

〇花野 郁也¹、藤田 留士郎¹、渡邊 幸志²、赤羽 浩一³、早瀬 潤子¹ (1.慶大理工、2.産総研、3.情報通信研究機構)

キーワード：NV中心、反応性イオンエッチング、集束イオンビームエッチング