[13p-A31-1~10] STMノーベル賞&AFM発明30周年記念シンポジウム　～プローブ顕微鏡のこれまでとこれから～

[13p-A31-8] 電気二重層トランジスタの微視的理解に向けた周波数変調AFM及び古典MD計算によるイオン液体/有機半導体界面の構造評価

〇横田 泰之¹、原 援又²、森野 裕介²、坂東 賢一²、大野 桜子²、宮本 洋雄²、今西 哲士²、稲垣 耕司³、森川 良忠³、岡田 悠悟⁴、松井 弘之⁴、植村 隆文⁴、竹谷 純一⁴、福井 賢一² (1.理研、2.阪大院基礎工、3.阪大院工、4.東大院新領域)

キーワード：原子間力顕微鏡、有機半導体、電気二重層トランジスタ

イオン液体(IL)とルブレン単結晶半導体の界面を利用したFETは，電気二重層の形成によってホールを誘起させることで高い動作性能を示し，この界面構造とFET性能との関係を理解することで更なる性能向上が期待されている．本研究では周波数変調AFM (FM-AFM)及び古典分子動力学(MD)計算によってIL/ルブレン界面の局所構造を評価すると共に，表面形状とデバイス特性の関係について検討を行ったので報告する。