[13p-B12-1~18] 2.2 検出器開発

△ [13p-B12-13] 厚いメンブレン構造を持つガンマ線検出用TES型マイクロカロリーメータの開発

〇首藤 祐輝¹、伊豫本 直子¹、吉峰 郁海¹、黒岩 健宏¹、前畑 京介¹、高野 彬¹、善本 翔大¹、満田 和久²、永吉 賢一郎²、林 佑²、村松 はるか² (1.九大院工、2.宇宙科学研究所)

キーワード：超伝導転移端温度計、厚いメンブレン構造を持つTES、SOI基板

物理的な強度を持たせる為に、厚いメンブレン構造を持つTES型マイクロカロリーメータを2種類製作した。これらはメンブレンの厚さが異なる。これらの素子に対し特性測定及びガンマ線検出実験を行い、メンブレンの厚さの違いにより生じる各性能値の比較を行った。更に特性測定結果からそれぞれの素子の持つ物理的パラメータを求め、その素子で達成し得る最良のエネルギー分解能を導いた。