[13p-B12-1~18] 2.2 検出器開発

[13p-B12-15] STEM–TES用ポリキャピラリーレンズの開発

〇高野 彬¹、前畑 京介¹、伊豫本 直子¹、都留 由紀子¹、原 徹²、満田 和久³、山崎 典子³、田中 啓一⁴ (1.九大工、2.NIMS、3.JAXA、4.日立ハイテクサイエンス)

キーワード：ポリキャピラリー、TES型マイクロカロリメータ、走査透過型電子顕微鏡

走査透過型電子顕微鏡(STEM)に搭載するエネルギー分散型分光器(EDS)システムとして、超伝導相転移端温度計(TES)型X線検出器を開発している。TES型X線検出器の実効的な検出立体角を大きくするためにポリキャピラリーを使用している。TES型X線検出器を多ピクセル化したシステムを実装するに当たり、独自に作成したシミュレーションコードを使用して新たなポリキャピラリーを設計した。