[13p-B12-1~18] 2.2 検出器開発

[13p-B12-8] 大型X線検出器に向けたIGZO-TFTプリアンプ及びカウンターの試作

〇島添 健次¹、小山 晃広¹、高橋 浩之¹、三好 寿顕² (1.東大工、2.シャープ)

キーワード：IGZO、フォトンカウンティング、薄膜トランジスタ

IGZO (indium gallium zinc oxide)薄膜トランジスタはフラットパネルディスプレイにおけるスイッチング等に利用されており、本技術は大型X線検出器信号処理技術としても有望である。ここでは大型X線フォトンカウンティング検出器への適用を目指してIGZOを用いた電荷感応増幅器およびアナログカウンターの試作を行った。また8x8ピクセルアレー検出器の試作を行ったので詳細について報告する。