[13p-C31-1~11] 7.1 X線技術

[13p-C31-2] 波長 4.0 nm 斜入射ミラー用 Cr/Sc/Mo 多層膜の開発

〇羽多野 忠¹、江島 丈雄¹ (1.東北大多元研)

キーワード：多層膜、反射率、軟Ｘ線

波長 4 nm の実験室軟Ｘ線顕微鏡で使用する斜入射ミラーの多層膜反射材を開発する。前回周期数 20 の Cr/Sc 多層膜成膜で剥離が発生したことを報告した。Sc の膜応力を低減するために Mo を加えた 3 物質からなる多層膜構造を発案した。10 周期で Cr/Sc 20 周期と同じピーク反射率が期待できる。Si ウェハに成膜して反射率を測定し、27% のピーク値を得た。凹面ガラス基板に成膜し、剥離が発生しないことを確認した。