[13p-C31-1~11] 7.1 X線技術

[13p-C31-3] PF BL-11D における 5 – 10 nm 領域の回折格子の回折効率評価

〇羽多野 忠¹、小池 雅人²、浮田 龍一³、笹井 浩行³、長野 哲也³ (1.東北大多元研、2.量研機構量子ビーム、3.島津製作所デバイス)

キーワード：回折格子、回折効率、軟Ｘ線

PF の BL-11D で軟X線回折格子市販標準品の回折効率評価を行った。入射角を 87° に固定し、分光器の波長を変えて波長 5 – 10 nm の回折効率を測定した。結果は計算値とよく一致した。次に 波長を B-K 発光の 6.76 nm の一定とする条件での入射角依存性を調べた。光源側から回折格子を見込む大きさの重みを掛けた回折効率は入射角 83° で最大になり、標準品の設計に対して 3 倍の感度向上が期待できることがわかった。