[13p-C31-1~11] 7.1 X線技術

[13p-C31-4] 多価イオンプラズマ計測用軟X 線射入射分光器の絶対較正

〇(P)ヂン タンフン^1,4、近藤 芳希¹、田村 賢紀¹、荒居 剛己¹、牧村 哲也²、太田 茂³、北野 謙³、山本 洋一⁴、石野 雅彦⁴、錦野 将元⁴、江島 丈雄⁵、羽多野 忠⁵、東口 武史¹ (1.宇都宮大院工、2.筑波大院数理、3.真空光学、4.量研機構関西光研、5.東北大多元研)

キーワード：EUV光学素子、レーザー生成プラズマ