[13p-C42-1~9] 9.3 ナノエレクトロニクス

[13p-C42-6] 制御パラメータの自律的な設定手法を取り入れた
リアルタイムOS駆動型エレクトロマイグレーションの検討

〇沼倉 憲彬¹、木原 裕介¹、塩村 真幸¹、加藤木 悠¹、佐藤 秀亮¹、白樫 淳一¹ (1.東京農工大院工)

キーワード：リアルタイムOS、フィードバック制御型エレクトロマイグレーション、ナノギャップ