[13p-D62-1~14] 6.4 Thin films and New materials

[13p-D62-12] Synthesis of Gd-doped CeO₂ films using metal-EDTA complex

〇Tsuyoshi Kikuta¹, Atsushi Nakamura^2,1, Keiji Komatsu¹, Hidetoshi Saitoh¹ (1.Nagaoka Univ. Tech., 2.Chubu Chelest Co., Ltd.)

Keywords:Gd-doped CeO2, ethylenediaminetetraacetic acid, metal oxide thin-film

Gd添加CeO₂(GDC)は高いイオン導電性、酸化・還元雰囲気下で高い安定性を持つことから、固体酸化物燃料電池(SOFC)の元素拡散防止膜として注目されており、組成設計された気孔の少ない緻密膜が求められる。そこで、蒸気圧が極めて低いエチレンジアミン四酢酸(EDTA)を出発原料として、塗布法と大気焼成を組み合わせた方法で薄膜合成を試みた。