[13p-D62-1~14] 6.4 薄膜新材料

[13p-D62-12] EDTA金属錯体を出発原料にしたGd添加CeO₂膜の合成

〇菊田 剛史¹、中村 淳^2,1、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.中部キレスト)

キーワード：ガドリニウムドープ酸化セリウム、エチレンジアミン四酢酸、金属酸化物薄膜

Gd添加CeO₂(GDC)は高いイオン導電性、酸化・還元雰囲気下で高い安定性を持つことから、固体酸化物燃料電池(SOFC)の元素拡散防止膜として注目されており、組成設計された気孔の少ない緻密膜が求められる。そこで、蒸気圧が極めて低いエチレンジアミン四酢酸(EDTA)を出発原料として、塗布法と大気焼成を組み合わせた方法で薄膜合成を試みた。