[13p-D62-1~14] 6.4 薄膜新材料

[13p-D62-14] Zr-EDTA錯体原料を用いたキレートフレーム法によるZrO2膜の作製

〇(M1)池田 裕¹、中村 淳^2,1、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.中部キレスト)

キーワード：酸化ジルコニウム、金属EDTA錯体、キレートフレーム法

本研究では，ZrO2の厚膜を安価かつ高速に製膜する方法としてキレートフレーム法を提案する．先行研究ではエルビア(Er2O3)やイットリア(Y2O3)などの金属酸化物の堆積に成功している．その結果，キレートフレーム法を用いて，Zr-EDTA金属錯体は水酸素炎中で完全に分解し，ZrO2膜をSUS304基板上に作製できた．