[13p-D62-1~14] 6.4 薄膜新材料

[13p-D62-7] 複合成膜により成膜された光学薄膜の応力特性

〇田島 直弥¹、室谷 裕志¹、松本 繁治²、本多 博光² (1.東海大工、2.(株)シンクロン)

キーワード：光学薄膜、内部応力、複合成膜