[13p-D62-1~14] 6.4 薄膜新材料

[13p-D62-8] 高温領域におけるCr-N薄膜ひずみセンサのゲージ率

〇丹羽 英二¹ (1.電磁研)

キーワード：Cr-N薄膜、ゲージ率、高温

Cr-N薄膜は室温近傍で特性が温度に対し安定で、感度を示すゲージ率が既存金属箔ひずみゲージの6倍以上と大きく、次世代ひずみセンサとして期待されている。これまで明らかになっていないCr-N薄膜の100℃を超える高温域におけるゲージ率を調べた。その結果、その値は100℃を超えると急激に減少するが、450℃まで3.7以上の比較的大きな値を示すことがわかった。