[13p-P1-1~8] 1.6 Ultrasonics

[13p-P1-1] Theoretical Analysis of Leaky SAW on ScAlN/Rotated Y-X LiTaO₃ Structure

〇Shoji Kakio¹, Shinsuke Katsutani¹, Keiko Hosaka¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:Leaky SAW, ScAlN thin film, LiTaO3

ScAlN圧電薄膜を回転Y-X LT基板に装荷した場合のリーキー弾性表面波(LSAW)伝搬特性を理論解析した．ScAlNの分極軸が基板表面に水平かつ伝搬方向に垂直のとき，LSAWの結合係数K2が増加する薄膜が存在すること，LTのカット角が33°，規格化膜厚0.15のとき，未装荷におけるカット角36°の場合(K2=5.2%)よりも大きな8.5%のK2とゼロ伝搬減衰が同時に得られることがわかった．