[13p-P1-1~8] 1.6 超音波

[13p-P1-3] GaAs基板上櫛型電極による表面弾性波のRF励振特性―電極指による弾性波の反射や不規則性の影響

〇三橋 大地¹、松友 知将¹、坂東 弘之¹、松末 俊夫¹ (1.千葉大院融合)

キーワード：表面弾性波(SAW)、GaAs、櫛型電極(IDT)