[13p-P1-1~8] 1.6 超音波

[13p-P1-5] インピーダンス負荷SAWセンサを用いた振動周波数測定

佐藤 弘彬¹、大石 将揮¹、〇近藤 淳¹ (1.静岡大学)

キーワード：弾性表面波、インピーダンス負荷SAWセンサ

弾性表面波（SAW）素子とインピーダンスが変化するセンサを組み合わせると，インピーダンス負荷SAWセンサが実現できる．本講演では，インピーダンス負荷SAWセンサを用いた片持ち梁の振動測定結果について報告する．また，片持ち梁に損傷がある場合の結果についても述べる．