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△ [13p-P5-3] ミスト触媒CVDによる紡績性MWCNTアレイ成長法の開発
キーワード:CNTアレイ、乾式紡績、ミスト触媒CVD
応用のためのCNT効率的生産プロセス確立に向けた基礎技術として、ミスト触媒CVD法を用いた触媒粒子形成およびCNT成長のin-situプロセスを開発した。本方法は、CNTのハンドリング性を向上させることが可能な乾式紡績現象を発現するMWCNTアレイの合成が可能である。触媒形成およびCNT成長の各種実験パラメータが試料に与える影響を調査した。