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[13p-P5-42] チップ増強ラマン分光法によるグラフェンの局所ドーピング変化の検出
キーワード:グラフェン、チップ増強ラマン分光法 (TERS)、局所ドーピング
近接場効果によって従来のラマンより優れた空間分解能を持つチップ増強ラマン分光法(TERS)を用いて、デバイス作製プロセス後のグラフェンの局所ラマンスペクトルを解析する。遠距離場のラマンスペクトルでは、位置による差はほとんど見られなかったが、TERSスペクトルでは、位置によってG、2Dピークが大きくシフトしていた。これはグラフェンの位置によってドーピング濃度が異なることに起因していると考えられる。