[13p-P7-1~17] 6.4 薄膜新材料

[13p-P7-11] アークプラズマ蒸着法による酸化物成膜パラメータの基礎解析

〇竹内 健太¹、渡邉 幸輝¹、種村 眞幸¹ (1.名工大院工)

キーワード：アークプラズマ蒸着法