[13p-P7-1~17] 6.4 薄膜新材料

[13p-P7-9] RFスパッタ法によるc軸配向多結晶ZnO薄膜のTFT応用

〇(B)高橋 崇典¹、宝賀 剛¹、内山 潔¹ (1.鶴岡高専)

キーワード：ZnO、酸化物半導体