[13p-P8-1~46] 10 スピントロニクス・マグネティクス(ポスター)

[13p-P8-29] EBSD法等を用いたホウ化鉄合金の結晶組織観察

〇河原 正美¹、翠簾野 敦¹ (1.(株)高純度化学研)

キーワード：磁性体、焼結、鉄合金

ホウ化鉄合金は、ハードディスク磁性層や、MRAMのような磁気メモリの磁性体層として応用が期待されている材料である。材料となるスパッタリングターゲットの製法には様々な手法が用いられてきた。今回我々は、良質なターゲット製造用母材を得るため、原料粒径、製造方法、冷却速度といった製造条件が、バルクやその構造、組織にどのような影響を与えるのかを、多方面の分析方法にて調査し、製造時の挙動を推察した。当日はその詳細を報告する。