[14a-A23-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[14a-A23-4] 電界印加によるYO_1.5-HfO₂基薄膜の結晶構造変化

〇清水 荘雄¹、三村 和仙¹、片山 きりは¹、木口 賢紀²、赤間 章裕²、今野 豊彦²、坂田 修身³、舟窪 浩¹ (1.東工大、2.東北大、3.物材機構)

キーワード：強誘電体、酸化ハフニウム、微小領域X線回折