[14a-A26-1~10] 6.2 Carbon-based thin films

△ [14a-A26-9] Dopant effects of Si-DLC and Ti-DLC deposited by sputtering

〇Nanako Ishiguro¹, Junjun Jia¹, Manami Kurose², Hironobu Machinaga², Yuzo Shigesato¹ (1.Aoyama Gakuin Univ., 2.Nitto Denko)

Keywords:DLC, Sputter

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は他の物質を添加することにより、表面の摩擦係数・トライボロジー特性、酸バリヤ性やガスバリヤ性など様々な性質を制御することが知られている。本研究では、ドーパントとしてSiとTiをえらび同時スパッタ法によりSi-DLC、およびTi-DLCのsp³/sp²、膜密度、弾性率、トライボロジー等の解析を行った。