[14a-A37-1~10] 6.4 Thin films and New materials

[14a-A37-2] Crystal Structure and Mechanical Properties of TiO₂ Optical thin films (3)

〇Taketomo Shiina¹, Hiroshi Murotani¹, Tsutomu Katsumata², Toshihiro Housen³ (1.Tokai Univ., 2.Palmeso Co., Ltd, 3.Rhesca Co., Ltd)

Keywords:TiO2, Mechanical properties, Crystal structure

TiO₂膜は, 高屈折, 高硬度, 光触媒機能の特徴を持っている．また, 膜の結晶構造は成膜条件の影響を受けることが知られている. 先行研究より, TiO₂膜の結晶構造は膜の機械的特性に影響を与えることを報告した. 本研究の目的として, TiO₂膜の内部構造の機械的特性, 特にMSE試験による膜の評価を行った．