[14a-A37-1~10] 6.4 薄膜新材料

[14a-A37-2] TiO₂光学薄膜の結晶構造と機械的特性（３）

〇椎名 赳智¹、室谷 裕志¹、勝俣 力²、宝泉 俊寛³ (1.東海大工、2.株式会社パルメソ、3.株式会社レスカ)

キーワード：TiO2、機械的特性、結晶構造

TiO₂膜は, 高屈折, 高硬度, 光触媒機能の特徴を持っている．また, 膜の結晶構造は成膜条件の影響を受けることが知られている. 先行研究より, TiO₂膜の結晶構造は膜の機械的特性に影響を与えることを報告した. 本研究の目的として, TiO₂膜の内部構造の機械的特性, 特にMSE試験による膜の評価を行った．