[14a-A37-1~10] 6.4 Thin films and New materials

[14a-A37-9] Synthesis of Yttria Film on Aluminum Alloy by Chelate Flame Method

〇Takashi Costa¹, Atsushi Nakamura^2,1, Keiji Komatsu¹, Hidetoshi Saitoh¹ (1.Nagaoka Univ. Tech., 2.Chubu Chelest Co., Ltd.)

Keywords:thermal splay, metal chelate complex, aluminum alloy

金属/セラミックスの接合材は様々な用途に使われており、中でも、アルミニウム/セラミックスの接合材は絶縁回路基板などに応用されている。我々の研究ではフレーム溶射装置にエチレンジアミン四酢酸(EDTA)などの有機金属錯体を原料として投入する方法をキレートフレーム法と定義している。今回は、キレートフレーム法を用いて低融点材料(約600℃)のアルミニウム合金上にY₂O₃膜を堆積させ、その結晶構造と微細構造を調査した。