[14a-A37-1~10] 6.4 薄膜新材料

[14a-A37-9] キレートフレーム法によるアルミニウム合金上のイットリア膜の合成

〇小寿田 貴士¹、中村 淳^2,1、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大(院)、2.中部キレスト)

キーワード：溶射、金属キレート錯体、アルミニウム合金

金属/セラミックスの接合材は様々な用途に使われており、中でも、アルミニウム/セラミックスの接合材は絶縁回路基板などに応用されている。我々の研究ではフレーム溶射装置にエチレンジアミン四酢酸(EDTA)などの有機金属錯体を原料として投入する方法をキレートフレーム法と定義している。今回は、キレートフレーム法を用いて低融点材料(約600℃)のアルミニウム合金上にY₂O₃膜を堆積させ、その結晶構造と微細構造を調査した。