[14a-B4-1~5] 3.15 シリコンフォトニクス

[14a-B4-5] Siフォトニック結晶スローライト変調器の光-電気位相整合

〇雛倉 陽介¹、寺田 陽祐¹、新井 宏之¹、馬場 俊彦¹ (1.横国大学院工)

キーワード：光変調器、フォトニック結晶

フォトニック結晶導波路のスローライトは変調器の位相変化量を増大させる一方で，RF信号との位相不整合により周波数応答を悪化させる．そこで今回は，RF信号を迂回，遅延させるメアンダライン電極を導入し，群屈折率を増加させながら周波数応答を測定した．メアンダライン電極デバイスのEO周波数応答には，通常電極で見られた位相不整合によるディップが現れなかった．ゆえに，メアンダラインの位相整合効果が確認された．