[14a-C31-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[14a-C31-2] LCOS型空間光位相変調器を用いたワンショット3Dレーザ加工の検討

〇堀田 雄二¹、音羽 亮平¹、西立野 将史¹、桜井 康樹¹、鄭 麗和²、山本 浩史²、平等 拓範² (1.santec、2.分子研)

キーワード：空間光位相変調器、レーザ加工、液晶

今回、LCOS型（Liquid Crystal On Silicon）空間光位相変調器（SLM）を用いて描画した加工像を被加工面に結像させることでワンショットで3次元レーザ加工を行う方法について検討行った。