[14a-D62-1~12] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

△ [14a-D62-3] B,P 同時ドープシリコンナノ結晶塗布薄膜の光電流特性およびインピーダンス解析

〇加納 伸也¹、佐々木 誠仁¹、藤井 稔¹ (1.神戸大院工)

キーワード：半導体ナノ結晶、ナノ結晶塗布薄膜、インピーダンス解析

半導体ナノ結晶コロイドを塗布して半導体薄膜を形成する手法は、大面積電子デバイスの新しい作製法として注目されている。我々のグループでは、ホウ素(B)とリン(P)が高濃度に凝縮されたシェル層を有する、表面修飾分子なしで極性溶媒中に均一に分散するシリコン(Si)ナノ結晶コロイド（B,P 同時ドープSi ナノ結晶）を開発している。本発表では、B,P 同時ドープシリコンナノ結晶塗布薄膜の光電流特性とインピーダンス解析を行い、Si ナノ結晶塗布薄膜を等価電気回路で表すことを試みたので報告する。