[14a-D62-1~12] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[14a-D62-5] シリコンナノ粒子インクを用いたプリンタブル薄膜サーミスタ

〇添田 淳史¹、池田 吉紀¹、城 尚志^1,2 (1.帝人、2.NanoGram)

キーワード：薄膜サーミスタ、シリコンナノ粒子

薄膜状の抵抗体を有する薄膜サーミスタは，薄型軽量で実装の自由度が高く，高速応答性に優れるなど，一般的なサーミスタにはないユニークな特徴を有する．シリコンは1.1 eVのバンドギャップを有し，バンド間の電子の熱励起により抵抗値が変化するため，サーミスタ抵抗体材料として有望である．本研究では，シリコンナノ粒子インクを用いた，塗布プロセスによる薄膜サーミスタ抵抗体の形成について検討し，実用的な温度係数を有する薄膜サーミスタが作製可能であることを実証した．