[14a-D62-1~12] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[14a-D62-7] FePtナノドットスタック構造における磁場印加後の電気伝導特性評価

〇河瀬 平雅¹、牧原 克典¹、大田 晃生¹、池田 弥央¹、宮崎 誠一¹ (1.名大院工)

キーワード：ナノ粒子、磁性体

熱酸化SiO₂薄膜上の極薄Pt/Fe積層構造にリモートH₂プラズマを外部非加熱で照射することで、L1₀規則化合金FePtナノドットが高密度(面密度: ~10¹¹cm^-2) 一括形成でき、サイズの異なるFePtナノドットをSi酸化膜を介して積層した構造の電気抵抗は、ドットの磁化状態が平行・反平行で大きく変化することを報告した。本研究では、FePtナノドットスタック構造上部にAl電極を形成し、FePtナノドットの帯磁状態が電気伝導に及ぼす影響を評価した。