2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[14a-D63-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

2016年9月14日(水) 09:15 〜 12:00 D63 (万代島ビル6階D3)

松谷 晃宏(東工大)

10:00 〜 10:15

[14a-D63-4] Si3N4/SiO2/Si基板上に作製したMOD法プリカーサ薄膜の減圧焼成で得たVOx薄膜の特性評価

〇前田 幸平1、立木 隆1、内田 貴司1 (1.防衛大電気電子)

キーワード：有機金属分解法、VOx薄膜、ボロメータ