[14a-P6-1~20] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[14a-P6-5] P-GaNへのオーミックコンタクト形成における水素含有雰囲気の影響

〇高橋 昌靖¹、筒井 一生¹、星井 拓也¹、角嶋 邦之¹、若林 整¹、岩井 洋¹ (1.東京工業大学)

キーワード：窒化ガリウム