[14p-A22-1~8] プロセスプラズマ診断の最前線~大気圧、気液混合プラズマの理解と制御にむけて~

[14p-A22-3] 非平衡大気圧プラズマの電子密度計測

〇占部 継一郎¹ (1.エア・リキード・ラボラトリーズ)

キーワード：プラズマ診断、大気圧プラズマ、電子密度

非平衡大気圧プラズマの電子密度計測法として様々な手法がある中で、本講演では光（電磁波）を能動的に用いた計測法を中心に紹介する。実験系の構築に必要な基礎に加え，高密度流体中でのプラズマ計測用のレーザー干渉計や、核融合プラズマ研究用に開発された手法の大気圧プラズマ計測への応用、気液界面を有する大気開放型プラズマ源の診断などの最近のプラズマ診断研究成果についても紹介する予定である。