[14p-A23-1~9] DLC膜の国際標準化　－標準化を支える先端評価技術と世界展開を睨んだ産業応用－

[14p-A23-1] DLC膜と国際標準化の意義

〇齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大)

キーワード：DLC膜、国際標準

DLCの用語はてぇが1971年に発表した論文のタイトル”Ion-Beam Deposition of Thin Films of Diamondlike Carbon”に起源がある。イオンビーム装置で作製した炭素膜は、ダイヤモンド中の炭素の特性と同等な振る舞いをするというのが論文の概要である。応用物理学会学術講演会でも1970年代からアモルファス炭素膜に関する研究成果が発表され始め、80年代にはDLCの用語を使うようになり、基礎・応用の両面で研究が発展し、その成果の集大成として、DLC膜の分類を中心に国際標準化作業が始まっている。