[14p-A23-1~9] DLC膜の国際標準化　－標準化を支える先端評価技術と世界展開を睨んだ産業応用－

[14p-A23-2] DLC膜の構造と分類

〇大竹 尚登¹ (1.東工大工)

キーワード：ダイヤモンド状炭素膜、標準化、分類

炭素膜の中で，特にDLC膜はその優れたしゅう動特性から，産業応用が急速に進展している．一方，製法によりDLC膜の特性は大きく変化することから，材料としての標準化が急務である．DLCの分類は，sp³/ (sp³+sp²)比（sp³比と称する）と膜に含まれる水素量により行われている．炭素と水素のみからなるノンドープDLC膜は，TYPE I (ta-C), TYPE II (ta-C:H), TYPE III (a-C), TYPE IV (a-C:H)の４分類からなるとし，低sp³比のTYPE V と高水素量のTYPE VI についてはその他の膜として，DLCの枠外に分類した．