[14p-A23-1~9] DLC膜の国際標準化　－標準化を支える先端評価技術と世界展開を睨んだ産業応用－

[14p-A23-3] 分光エリプソメトリーを用いたDLC膜の光学特性評価

〇和才 容子¹、桜井 正行¹、森山 匠¹、ナバトバーガバイン ナタリヤ¹ (1.堀場製作所)

キーワード：分光エリプソメータ、光学特性、ダイヤモンドライクカーボン

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）薄膜は優れた特性を持つことから、さまざまな分野への応用が広がっている。しかし、DLC薄膜の特性は多岐にわたり、適材適所での産業利用のためにはこれらの分類と標準化を明確にする必要がある。これを受け、現在DLC薄膜の分類・国際標準化への活動が進められている。本講演では光学的評価法として注目されている分光エリプソメトリー法の原理やDLC薄膜評価への可能性について紹介する。