[14p-A23-1~9] DLC膜の国際標準化　－標準化を支える先端評価技術と世界展開を睨んだ産業応用－

[14p-A23-7] 静電加速器の RBS/ERDA による DLC の水素定量

〇鈴木 常生¹、志田 暁雄²、片桐 一夫²、久保 彩佳¹、磯 浩之³ (1.長岡技大工、2.長岡技大極限セ、3.放医研加速器工)

キーワード：水素定量、ダイヤモンドライクカーボン、ラザフォード後方散乱分光法/弾性反跳散乱分光法

DLCは水素含有量によって種々の特性が大きく変化するため、その測定は重要な評価項目の１つである。DLC薄膜の水素含有量は、1〜50at%程度と広範囲であることから、この範囲内を精度良く測定する手法として、静電加速器を使ったRBS（ラザフォード後方散乱分光法）とERDA（弾性反跳散乱分光法）が非常に有効である。本発表ではこれまでのRBS/ERDAによるDLC水素定量の測定手法について紹介する。