[14p-A23-1~9] DLC膜の国際標準化　－標準化を支える先端評価技術と世界展開を睨んだ産業応用－

△ [14p-A23-9] BEMA法及びNEXAFS法を用いたDLC膜の構造評価

〇(D)周 小龍¹、荒川 悟¹、鈴木 常生¹、小松 啓志¹、神田 一浩²、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.兵庫県立大)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン膜、ブラッグマン有効媒質近似理論、吸収端近傍X線吸収微細構造分析

C-sp³、C-sp²と末端構造炭化水素の分析はDLC膜の構造分析の中で極めて重要な課題である。本研究は、 BEMAと NEXAFSにより、4つの手法で作製した異なるDLC膜の構造分析を行った。膜の sp³/(sp³+sp²)はBEMA法とNEXAFS法で比較すると、低水素組成のDLC膜で一致し、高水素組成がずれてきた。高水素組成の試料で、膜中の炭化水素構造が多くなり、BEMAのモデルフィッテングが難しなり、また、DLC膜の導電性が低くなって、NEXAFSの測定精度に与える影響が大きくなると考えられる。