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[14p-A24-5] レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡( LTEM )を用いた結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化評価
キーワード:テラヘルツ、太陽電池、フェムト秒レーザー
レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡(LTEM)は、半導体や電子デバイスに対してレーザー照射によって放射されるTHz波を検出しイメージ化する計測技術である。我々はこの技術を太陽電電池モジュールの電圧誘起劣化(PID)評価に適用し、フォトルミネッセンス(PL)法やエレクトロルミネッセンス(EL)法と比較を行った。当日は、LTEM計測技術の紹介とPID現象のLTEMによる評価・考察について説明する。